스퍼터링 공정은 타겟이라고 불리는 원료 물질을 기화시켜 반도체, 유리, 디스플레이와 같은 제품 표면에 얇고 고성능의 박막을 증착하는 방식입니다. 타겟의 구성 성분은 코팅의 특성을 직접적으로 결정하기 때문에 재료 선택이 매우 중요합니다.
다양한 금속이 사용되며, 각 금속은 특정한 기능적 이점을 고려하여 선택됩니다.
전자 및 중간층용 기초 금속
고순도 구리는 탁월한 전기 전도성으로 인해 높이 평가됩니다. 99.9995% 순도의 구리는 첨단 마이크로칩 내부의 미세 배선(상호 연결)을 제작하는 데 필수적이며, 속도와 효율성을 위해서는 최소한의 전기 저항이 매우 중요합니다.
고순도 니켈은 다재다능한 핵심 소재입니다. 특히 우수한 접착층 및 신뢰할 수 있는 확산 방지층으로 사용되어 서로 다른 재료의 혼합을 방지하고 다층 구조 소자의 구조적 안정성과 수명을 보장합니다.
텅스텐(W) 및 몰리브덴(Mo)과 같은 내화 금속은 높은 내열성과 안정성으로 인해 가치가 높으며, 견고한 확산 방지막 및 까다로운 환경에서의 접촉부에 자주 사용됩니다.
특수 기능성 금속
고순도 은은 모든 금속 중에서 가장 뛰어난 전기 및 열 전도성을 제공합니다. 이러한 특성 덕분에 터치스크린에 사용되는 전도성이 뛰어난 투명 전극이나 에너지 절약형 창문에 적용되는 반사율이 높고 방사율이 낮은 코팅을 증착하는 데 이상적입니다.
금(Au)과 백금(Pt)과 같은 귀금속은 신뢰성이 높고 내식성이 뛰어난 전기 접점 및 특수 센서에 사용됩니다.
티타늄(Ti)과 탄탈륨(Ta)과 같은 전이 금속은 뛰어난 접착력과 차단 특성으로 인해 매우 중요하며, 다른 재료를 적용하기 전에 기판 위에 기초층을 형성하는 데 자주 사용됩니다.
이처럼 다양한 소재들이 현대 기술을 가능하게 하지만, 전도성이 뛰어난 구리, 신뢰성이 우수한 니켈, 그리고 탁월한 반사율을 자랑하는 은은 각 분야에서 여전히 타의 추종을 불허합니다. 이러한 고순도 금속들의 일관된 품질은 고성능 박막 코팅의 기반이 됩니다.
게시 시간: 2025년 11월 24일
